在机械手运转前，对机械手X、Y、Z、U、V轴进行原点查找，点体系预备发动，待显现体系预备完成后，点形式切换，体系切换成主动形式，点Robot1,Robot2体系主动运转。

  在机械手运转前，对机械手X、Y、Z、U、V轴进行原点查找，机械手1操控1～6号槽，机械手2操控6～9号槽。

  2机械臂脱钩时必定要注意对应槽子的槽盖ห้องสมุดไป่ตู้于翻开情况

  1 用双手从操作台上取一个已装好硅片的小花篮，悄悄放置在篮筐内。当心轻放，避免碰碎硅片。

  2 操作人员配戴新的丁腈手套，用双手将篮筐悄悄放置在上料台的传送带上，篮筐必定要摆正，而且不允许触摸身体其他任何部位。

  制绒槽和酸槽洗净规范：当参加的纯水在槽中为中性（pH=7.0），如长时刻不出产，除满意以上规范外，出产时还需做试验片，测验试验由工艺兼设备操作员担任。

  1.在主动形式下中止设备：点击设备预备中止，形式切换成手动，将一切正在运转指令封闭，退出程序。

  2.在手动形式下中止设备：机械手回到原点，将一切正在运转指令封闭，退出程序。

  1.设备呈现一些显着的反常问题时，马上陈述当班工程师，填写毛病记载单并由当班工程师和工段长一同签字承认。

  全主动单晶制绒设备1#预清洗槽，2#、6#QDR槽，3#、4#、5#制绒槽，7#混酸槽，8#OF清洗槽，9#慢提拉槽。

  在86℃，低浓度的NaOH溶液中反响20min使硅片外表产生各向异性腐蚀，产生密布的金字塔角锥体结构，工艺时刻35min。

  2对制绒槽内纯水量的操操控绒槽内未加IPA之前纯水操控量为100L，即制绒槽外槽第一个液位感应器为赤色，加完液后应注满水制绒槽外槽第一个液位感应器为绿色。

  3制绒槽的补液量依据硅片的减分量绒面情况恰当弥补IPA和NaOH，补液量由工艺兼设备操作员决议。

  检查纯水、CDA和 引进到设备的开关是不是翻开并承认压力正常，纯水箱是否有纯水，检查循环泵的手动阀是否翻开，检查各槽排液手动阀是否封闭，检查机器是否有漏液的当地，检查在线加热开关是不是正确指示，在线加热水管是否有水，避免空烧。

  1 检查水、气后合上设备总断路器，承认空开是否合上，按发动继电器是否得电，工控机和是否触摸屏得电，发动和显现正常，温控器是否发动。

  2 发动应用程序，挑选相应的出产的根本工艺，检查是不是有报警声响如液位报警，机械手报警，温度报警和其他反常声响等。

  出产前检查制绒槽是否洁净，制绒槽是否有残留的碎片、杂物，上料台是否洁净，各槽中是否有上个班次留下的花篮等物品，液位是不是到位，各槽边的是否残留药液，传递箱下料台是否清洁，2号和6号喷淋水的压力是否到位。

  3.初始配液和中心补液进程中，操作员有必要佩戴橡胶手套、防毒面具、橡胶防护围裙等劳保用品。加液进程中必定要缓慢仔细，避免将液体溅起，操作化学药品之前和之后都保证化学药品储存罐的开口为密闭的避免走漏或沾污的风险产生。

  5.制绒机的窗子在不必要时不要开，有需求开时要及时关上；机器运动时，不得把头、手伸进机器内，以防造成了严峻的伤害事故。

  7.手动操作全主动单晶制绒设备需由设备操作兼工艺员和设备操作员一同进行，设备操作员要独自手动操作，需经设备操作兼工艺员同意。